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半導體元件測試裝置設計

 更新時間:2019-03-11 點擊量:1076

  半導體元件測試裝置是應用于半導體以及元器件行業中進行高低溫測試運行的設備,無錫冠亞半導體元件測試裝置利用其在制冷加熱動態控溫系統領域的優勢,生產了半導體元件測試裝置,在行業需求比較大。

  半導體元件測試裝置系統進行低溫檢測時,真空低溫室上的光學窗口是保持室內真空密封所必需的。但是,用于干涉測量的光線要通過窗口,光學窗口對系統干涉檢測的影響必須加以仔細考慮。光學窗口一般采用穩定性好的防爆玻璃制成的平行平板,對它的材料的光學性能、兩個表面的平面度和平行性都有嚴格要求。平行平板處于檢測的光路中。如果檢測光路是會聚光束,平行平板必然要帶來像差(即球差),產生檢測誤差。通過計算發現,光學窗口帶來的光程差可以用干涉儀的離焦來補償。在實際操作中,可以選擇適當的離焦,使得總的測量誤差較小,光學窗口的影響可以忽略。

  當低溫室內部被抽成真空時,窗口兩側存在一個大氣壓的氣壓差,相當于窗口面積上有280牛頓的壓力。原則上講,這樣大的作用力會在窗口內部形成應力,從而引起折射率變化,引入附加的波差。計算表明,窗口內部受大氣壓產生的應力在外圈大,中間小,中心點上為零。如果采用大孔徑平行光束通過窗口的檢測方案,氣壓的影響將非常嚴重;如果檢測光路是以會聚的形式通過窗口中心一小塊區域,那么氣壓對窗口的光程差貢獻將非常小。

  半導體元件測試裝置可以對樣品做高溫測量,升高調壓器電壓,使輻射式加熱器對樣品進行加熱,提高樣品溫度,測量樣品高溫下的導電率、發光強度等數據,繪出隨溫度升高這些物理量的變化曲線。

  半導體元件測試裝置可應用于材料科學的各領域,可對各種材料、器件等進行低溫下的導電性能、發光性能等測試,尤其可達到的溫度已經在一些高溫超導材料的臨界溫度之上,可以對這方面的研究提供一定幫助,大跨度溫度范圍,可以對特殊材料的性質如半導體硅片的導電率,武器、航拍、太空拍攝的光學器件的變形,在高低溫下進行測試。

  無錫冠亞半導體元件測試裝置是針對半導體材料研發的,適用各個半導體材料領域,各個溫度環境中進行測試運行。(注:本來部分內容來百度學術相關論文,如果侵權,請及時聯系我們進行刪除,謝謝。)

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