光刻機(jī)水冷機(jī)是一種常見的工業(yè)冷卻設(shè)備，光刻機(jī)水冷機(jī)安裝時(shí)需要選取合適的安裝位置，這樣可以減少制冷量損失并且操作更為便利。

　　1、應(yīng)當(dāng)盡量減少光刻機(jī)水冷機(jī)與被控溫設(shè)備的距離，這樣的好處是可以減少冷凍水在管路中的壓降和冷量損失，而且機(jī)組沒有遠(yuǎn)程控制功能時(shí)方便操作設(shè)備；

　　2、從散熱條件來(lái)說(shuō)，將光刻機(jī)水冷機(jī)安裝有良好的通風(fēng)環(huán)境，可以將機(jī)組帶出的熱量及時(shí)排出，另外考慮到為了方便機(jī)組操作，將光刻機(jī)水冷機(jī)的控制和故障反饋部分遠(yuǎn)程接入是非常有必要的。

　　3、光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音主要來(lái)自于壓縮機(jī)、循環(huán)水泵和風(fēng)機(jī)這幾個(gè)部件，其中風(fēng)機(jī)的噪音是主要的，常規(guī)的小型光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音還是比較小的，如果是在有靜音要求的地方比如實(shí)驗(yàn)室使用，則需要考慮光刻機(jī)水冷機(jī)組的降噪問題。

　　4、光刻機(jī)水冷機(jī)組在使用和后期維護(hù)中可能需要補(bǔ)充一定量的循環(huán)水，所以安裝位置應(yīng)當(dāng)考慮有自動(dòng)補(bǔ)水的水源，以及設(shè)備檢修時(shí)可以方便地將循環(huán)水排出；如果光刻機(jī)水冷機(jī)采用的是手動(dòng)補(bǔ)水的方式，則只需考慮設(shè)備的排水問題就可以了。

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