制冷加热循环机,密闭高低温一体机,优质密闭低温冷冻机-无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

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光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

簡要描述:【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

  • 產品型號:LTS-202
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-16
  • 訪  問  量:799
詳情介紹
品牌冠亞制冷冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,生物產業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件



無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司的半導體控溫解決方案

主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。




【 冠亞制冷 】半導體行業(yè)主營控溫產品:

半導體專溫控設備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風控溫裝置

半導體?低溫測試設備

電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數據中心液冷解決方案


型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃





光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機


半導體專用溫控設備(Chiller)主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設備利用制冷循環(huán)和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進行控制,以實現半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關鍵設備。

  1、明確應用需求

  要明確冷水機在半導體設備中的應用需求。這包括但不限于設備的功率、冷卻能力、運行環(huán)境等。在了解這些需求的基礎上,才能選擇合適的冷水機型號。

  2、考慮制冷量

  頂層介質刻蝕雙通道chiller制冷量能夠保證設備在短時間內達到預設的溫度,并保持溫度穩(wěn)定。因此,在選型時,應關注設備的冷卻效率及其與設備負荷的匹配程度。

  3、考慮設備尺寸和重量

  頂層介質刻蝕雙通道chiller尺寸和重量也是選型過程中需要考慮的因素。如果設備尺寸過大或重量過重,可能會給安裝、移動和維護帶來困難。因此,在選型時,應根據實際需求選擇合適尺寸和重量的設備。


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