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集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

簡要描述:【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

  • 產品型號:LTS-202
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-16
  • 訪  問  量:1060
詳情介紹
品牌冠亞制冷冷卻方式水冷式
價格區間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,生物產業,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件



無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司的半導體控溫解決方案

主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。




【 冠亞制冷 】半導體行業主營控溫產品:

半導體專溫控設備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統

Chiller直冷型

循環風控溫裝置

半導體?低溫測試設備

電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數據中心液冷解決方案


型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內循環液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃





集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置


  淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller是一種用于冷卻半導體的設備,廣泛應用于半導體制造工序各種應用場景。以下是淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller的一些常見應用場景:

  1、半導體制造

  在半導體制造過程中,需要使用大量的半導體設備,如晶圓制造設備、封裝測試設備等。這些設備在工作時會產生大量的熱量,如果熱量控制不當,就會影響設備的性能和穩定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設備,保證設備的正常運行和生產效率。

  2、元器件電子設備

  電力電子設備如整流器、逆變器、電源等在工作時會產生大量的熱量,如果熱量控制不當,就會導致設備故障或性能下降。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設備,保證設備的正常運行和穩定性。

  3、通信設備

  通信設備如基站、交換機、路由器等在工作時會產生大量的熱量,如果熱量控制不當,就會影響設備的通信質量和穩定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設備,保證設備的正常運行和穩定性。

總之,淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller在各種應用場景中都發揮著一定作用,可以保證設備的正常運行和穩定性,提高生產效率和質量。




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