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側墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

簡要描述:【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。側墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

  • 產品型號:LTS-202
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-16
  • 訪  問  量:778
詳情介紹
品牌冠亞制冷冷卻方式水冷式
價格區間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,生物產業,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件



無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司的半導體控溫解決方案

主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。




【 冠亞制冷 】半導體行業主營控溫產品:

半導體專溫控設備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統

Chiller直冷型

循環風控溫裝置

半導體?低溫測試設備

電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數據中心液冷解決方案


型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內循環液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃





側墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

側墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷


半導體專用溫控設備(Chiller)主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設備利用制冷循環和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環液的溫度、流量和壓力進行控制,以實現半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關鍵設備。


半導體專用溫控設備(Chiller)依據不同工藝制程要求控制給定溫度的循環液流經半導體工藝設備反應腔內,將熱量帶入半導體專用溫控設備,半導體專用溫控設備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑,再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水,從而實現對工藝制程的溫度控制。


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